应力仪（应力双折射测量系统）

实时应力仪

设备特点

Ø工作模式：实时测量

Ø功能：实时显示应力大小，应力分布

Ø波长：可见光（520nm,590nm,650nm）

Ø量程：1~110nm & 1~280nm

Ø重复精度：0.1nm

Ø刷新频率：>15FPS

 软件功能

Ø点，线，面分析模式

Ø  科学分析方法与可视化信息

Ø  多种保存格式

Ø  应力大小与应力方向值

Ø  图像数字变倍

大幅面应力仪

设备特点

Ø工作模式：高精度测量

Ø功能：应力大小，应力方向

Ø检测波段：可见光（520nm,590nm,650nm）

Ø测试量程：1~70nm

Ø空间分辨率：0.05mm

Ø测试重复性：0.1nm

应用

Ø高精度较大口径光学元器件测量

Ø常规光学材料平面测量

Ø半导体晶圆测量

Ø超低应力样品测量

手持式应力仪

设备特点

Ø工作模式：实时应力测试

Ø功能：应力大小

Ø检测波段：590nm

Ø测试量程：1~120nm

Ø空间分辨率：0.1mm（根据测试位置决定）

应用

Ø大口径低厚度玻璃，大型Low-E玻璃，

Ø常规光学材料平面测量

Ø大口径球罩玻璃

Ø大型车辆，高铁，公交等窗口玻璃

应用方向