SmarAct高精密平移台技术介绍

2023-08-28 10:30:25 EsC6C 241

SmarAct粘滑驱动压电位移台配备了特定的驱动器，将宏观行程与纳米分辨率和每秒几毫米的高速结合在一起。粘滑压电驱动的工作原理如下所述。

	压电驱动器通过与其固定的摩擦元件连接到导轨的滑块。压电驱动器本身固定在平台上。
	压电驱动器的长度与外加电压成正比。由于施加在压电陶瓷上的电压有控制的上升或降低，压电陶瓷会放大或收缩。只要摩擦元件不被过快加速，滑动模块将跟随摩擦元件以相同加速度移动。这个阶段称为粘固阶段（stick-phase）。
	压电驱动器迅速收缩，滑动模块所受惯性力比摩擦力大，摩擦元件在滑动模块表面产生滑动。这样滑动模块保持在其位置不变，摩擦元件随压电驱动器归位。这个阶段叫做滑移阶段（slip-phase）。通过重复步骤2和3，可以实现滑块的宏观移动。此模式称为步进模式（Step mode）。
	在粘固阶段（Stick-Phase），可以通过缓慢增大或缩短压电驱动器来在亚纳米分辨率上移动滑块。