显微镜电动平台在无掩模光刻技术的应用——MW

德国Marzhauser公司（MW）是一家专注于显微镜电动载物台领域和手动载物台领域的先进OEM制造商，他们的主要产品有电动/手动载物台、轴控制器、载物台嵌入器、显微操作器、电子控制器等，这篇文章主要介绍了Marzhauser的产品在细胞科研中的前沿科学应用，如：倒置显微镜载物台、机械化样品台、聚焦驱动器和Marzhauser Wetzlar显微镜电动平台。

显微镜电动平台在无掩模光刻技术的应用

在快速制作芯片上器官设备的原型时，需要使用无掩模光刻技术。片上器官(OoC)和微流控设备通常使用需要洁净室、硅晶片和光掩模的微细加工程序生产。原型设计阶段通常需要设计步骤的多次迭代。因此，简化的原型制作过程可以提供主要优势。在这里，我们描述了一种使用无掩模光刻的快速且无洁净室的微细加工方法。

该方法利用基于商用数字微镜器件 (DMD) 的设置，使用 375 nm 紫外光对玻璃盖玻片上的环氧基负光刻胶 (SU-8) 进行背面曝光。我们表明可以制造各种几何形状和尺寸的微结构、微槽和不同高度的微通道。因此，可以在数小时内生产出新的 SU-8 模具和基于软光刻的聚二甲基硅氧烷 (PDMS) 芯片。我们进一步表明，背面紫外线曝光和灰度光刻允许使用单步制造工艺开发不同高度的结构或具有高度梯度的结构。

使用这种方法： (1) 可以根据需要设计、投影和快速调整数字光掩模；(2) SU-8 模具可以在没有洁净室的情况下制造，这反过来 (3) 减少了微制造时间和成本，以及 (4) 加快了新 OoC 设备的原型制作。

将基板放入可调节的显微镜支架中，用于背面紫外线曝光。为了曝光 SU-8 涂层基板，使用了连接到Leica DMi8倒置显微镜的无掩模DMD光刻系统（PRIMO，Alvéole Lab）。

连接到Tango控制器 (Märzhäuser Wetzlar)的电动显微镜载物台 (SCAN plus IM 130 × 85, Märzhäuser Wetzlar, Germany) 由Leonardo软件 (Alvéole Lab) 控制，用于自动拼接曝光区域。用于芯片和微特征的二进制数字光掩模是在开源矢量图形编辑器 (Inkscape) 中设计的。然后将数字光掩模加载到Leonardo软件 (Alvéole Lab) 中，并由系统使用DMD和375 nm紫外激光器以200 mW直接输出功率通过2.5X/0.07NA、5X/0.15NA或20X/0.40 投影NA物镜，取决于所需的微结构尺寸。根据 SU-8 层的厚度，对 SU-8 基板使用各种激光剂量（补充表 S1）。通过以 2-6 mJ/mm 2的激光剂量投射 8 位灰度数字光掩模来进行灰度光刻。

点击查看相关产品：显微镜电动平台