薄膜测量系统

介绍

薄膜测量系统TF-168采用非接触式光学方式，测量多层光学薄膜/镀层的厚度、折射率系数和吸收系数。

应用

光学器件上的介电镀层，镀膜的光学滤光片，晶圆上的半导体，液晶器件，多层聚合物薄膜

薄膜层如：SiO2, CaF2, MgF2, Photoresist, Polysilicon, Amorphous Silicon, SiNx, TiO2, Sol-Gel, Polyimide, Polymer

基底材料如：Silicon, Germanium, GaAs, ZnS, ZnSe, Acrylic, Sapphire, Glasses, Polycarbonate, Polymer, Quartz. 

规格参数

系统包含如下：

*卤钨灯(360-2500 nm)，SMA905接口

*USB微型光谱仪(350-1000 nm) ，SMA905接口

*硅片反射标准样品

特点：

*桌面式集成一体化系统

*卤钨灯、USB微型光谱仪可通过光纤单独接出来使用，用于其他光谱实验

*基底折射率和吸收系数

*薄膜厚度测量，平均值和方差

*薄膜折射率和吸收系数

*自由选择计算的波长范围

*自由选择预诂厚度范围以减少计算时间

*方便从包含的数据库中选择薄膜和基底材料

*客户自定义材料的选择和导入