高精密平移台（亚纳米级）

SmarAct 凭借其独特的专业技术，为工业及科研实验室用户提供高精度（亚纳米级）、紧凑的纳米定位/位移平台，量测产品。各系列产品广泛应用于高能研究装备（同步加速器、粒子加速器、自由电子激光器等）、半导体及光电子技术（包括大数据、AI、6G、IoT、自动驾驶等）、光学显微、生命科学等传统及前沿领域。

部分产品可以在极端条件下使用并确保其可靠性及耐用性，如超真空、超低温、无磁场及X 射线辐射环境下。

1. 线性运动平台

   
   

   

线性运动平台包括SLC 系列、CLS 系列、CLL 系列、MLS 系列、MLL 系列、DLS 系列、PLF 系列、SL 系列，根据不同的系列，行程可达405mm；小至4.5mm ，精度可小于1nm，大不超过150nm（单向重复精度）。各系列互相兼容，用户可以根据应用组合成复杂的多轴系统。

2. MR 及SR 系列旋转平台

SmarAct 基于不同的驱动技术，提供规格的紧凑型高精度的旋转平台，包括真空及超真空的、以及非磁性旋转平台。各系列旋转平台与其他定位/移动平台可以自由组合成更复杂的旋转定位系统，平台经久耐用可以连续及无限制的进行机械性的旋转。

SR系列旋转台其中小的型号只有25x20x8.5mm，大的可以到120x120x12mm。不同型号在开环情况下分辨率小可达小于1µ°。

3. 高荷重平台

CHS和SHL系列的线性平台是专门为处理重载荷而设计的。机械设计基于驱动楔，保证了工作台运动的高分辨率。单独的导轨确保沿负载方向的直线运动，并允许集成位置传感器进行直接位置反馈和闭环操作。具有一个自由度的平台，用于纯粹的垂直提升运动，可以配备一个额外的恒力弹簧(CFS)，以将有效载荷增加到更高的值。CHS垂直平台配备了SmarAct的可交换驱动单元，便于维护。CHS和SHL系列还可以组合在一起，在所有三个维度上形成高阻塞力的多轴系统。

不同型号，垂直行程大可达20mm，小可以到1mm；大荷重可达80N，小也可以到5N。

4. 角位移台

角位移台都基于SmarAct的压电驱动技术。角位移台有不同的半径。除了它们的紧凑性，这些位移台是非常刚性的，因此非常适合微米或纳米定位任务。

由于采用高精度交叉滚子轴承，其角精度非常高。角位移台在±5°的整个工作范围内提供优秀的运动分辨率。

通过将两个平台与合适的半径结合起来，可以构建一个具有共同旋转中心的紧凑型欧拉架角位移台。

它们的机械接口适合SLS-52模块化系统。因此，允许通过线性位移台，旋转台和角位移台的直接组合来创建多轴系统。角位移台可以通过我们的任何控制单元进行操作，也可以与集成的定位传感器一起使用。此外，SGO系列可用于不同的环境条件，例如高真空和超高真空环境。

SGO系列包括三个角位移台：SGO-60.5，SGO-77.5和SGO-93.5。前两个可以直接安装在彼此的顶部，以形成欧拉架角位移台。由于半径大，后一个是用于复杂子系统或较大部件的理想倾斜平台。在上面描绘的渲染图中，绿色球形表示给定角位移台或系统的旋转中心。

可以对SGO系列角位移台进行修改以适合特定要求，并且可以对其进行定制以集成到现有装置中。我们已经设计了许多定制解决方案，其中包括角位移台。请随时与我们联系，为您的应用找到理想配置。我们期待与您讨论您的个人要求。

5. 定位系统

当涉及到样品和工具的精确定位时，科学和工业中的大多数应用都需要一个以上的自由度。SmarAct的使命是成功地解决您的特定定位任务，并使您完全满意。从平面上的组件和样品定位到高度复杂的3D定位任务:SMARBOTIC定位系统旨在精确地满足您的挑战。

6. 微型夹持器

在自动装配线上精确地操纵部件、零件和工具，以及在生命科学中进行样品操纵和调节，是关键的定位任务。为了满足日益增长的需求，以非常高的精度控制镊子，钳子和夹持爪，我们补充了我们的产品组合与多功能抓取解决方案。

模块化是我们产品的关键特性之一。我们所有的夹持器包括一个线性压电位移台和一个夹持爪，可以很容易地替换和定制，如果需要的话。有几种不同的和专门的夹持爪设计可供选择。

当配备位置传感器时，夹持器允许对夹持过程和钳口打开进行全闭环控制。此外，将力传感器集成到我们的并联微夹持器SGP-17F中，在处理易碎或高度精密的物体时，不仅可以控制夹持爪开口，还可以控制夹持力。如果您的特定应用程序需要专门的设计，请随时与我们的应用程序专家联系，讨论可能的解决方案或完全定制的设计。

7. 控制系统及软件

每一个成功的定位解决方案都至少依赖于两个支柱。一是由解决方案的机械部分定义的，二是由电子和软件控制的。我们复杂且易于使用的控制系统，以及直观的软件解决方案和软件开发工具包（SDK），是将我们的定位技术快速轻松地集成到您的应用程序中的基础。SmarAct的控制系统组合包括各种针对不同应用和集成场景优化的组件。从单通道手持式控制器到18个通道的机架安装模块，我们能够为您配备正确的工具。

8. 测量方案

SmarAct提供了一系列的测量解决方案，广泛应用于工业和学术环境。

我们的PICO SCALE产品基于光学方法，用于位移和振动的非接触式测量。使用高带宽激光干涉仪，可以以低至pm的分辨率跟踪位移和振动。有多种选项可用于使测量适应您的确切要求。

位移测量

PICOSCALE干涉仪，用于高精度位移测量。

振动测量

PICOSCALE振动计，用于小样品的模态分析。

测量服务

SmarAct提供的全新计量测量服务。